《真空》(雙月刊)創(chuàng)刊于1964年，由中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所主辦。自1994年真空雜志轉(zhuǎn)換經(jīng)營(yíng)機(jī)制以來(lái)，由我國(guó)真空企業(yè)界實(shí)力雄厚的廠家與雜志社聯(lián)辦成立董事會(huì)，并由真空學(xué)術(shù)界著名學(xué)者組成編委會(huì)。社會(huì)效益與經(jīng)濟(jì)效益與日俱增，在國(guó)內(nèi)真空界享有盛譽(yù)。自1989年公開(kāi)發(fā)行以來(lái)，被美國(guó)、英國(guó)、德國(guó)、日本、意大利、韓國(guó)以及港澳地區(qū)越來(lái)越多的海外學(xué)者所關(guān)注。

　　《真空》獲工程技術(shù)類(lèi)核心期刊、中國(guó)期刊網(wǎng)、光盤(pán)國(guó)家工程中心用刊，中文核心期刊(2008)、中文核心期刊(2004)、中文核心期刊(2000)、中文核心期刊(1996)、中文核心期刊(1992)。

　　真空雜志欄目設(shè)置

　　本刊特邀、專家聚焦、創(chuàng)新產(chǎn)品、太陽(yáng)能利用、經(jīng)驗(yàn)介紹、真空技術(shù)及應(yīng)用系列講座

　　真空雜志榮譽(yù)

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　　閱讀推薦：科技尚品

　　《科技尚品》(月刊)創(chuàng)刊于2008年，郵發(fā)代碼80-922。是中國(guó)科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)主管，中國(guó)科教電影電視協(xié)會(huì)主辦的國(guó)內(nèi)外公開(kāi)發(fā)行，大16開(kāi)國(guó)家級(jí)科技期刊，月刊。國(guó)內(nèi)統(tǒng)一刊號(hào)：CN11-5573/Z;國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)刊號(hào)：ISSN1674-1064。

　　真空最新期刊目錄

控制鑭熱還原制備鐿原子蒸氣密度的工藝研究————作者：胡林松;金策;

摘要：目前，工業(yè)上應(yīng)用鑭熱還原法制備鐿的反應(yīng)溫度一般設(shè)置為1200 ℃左右，該溫度下金屬鐿的收率和純度很高，但還原反應(yīng)十分劇烈，而一些特定工業(yè)領(lǐng)域?qū)Ψ磻?yīng)產(chǎn)物的原子蒸氣密度提出了嚴(yán)格要求。針對(duì)該問(wèn)題，本文以高純氧化鐿和鑭屑為原料，對(duì)鑭熱還原制備鐿的工藝和還原反應(yīng)熱力學(xué)進(jìn)行分析，研究了還原反應(yīng)溫度和還原劑過(guò)量比對(duì)金屬鐿原子蒸氣密度的影響規(guī)律。結(jié)果表明：650 ℃下存在微量還原反應(yīng)；700～800 ℃鐿原子蒸...

Sc₂O₃- Y₂O₃- ZrO₂熱障涂層陶瓷材料的微觀結(jié)構(gòu)及力學(xué)性能————作者：郭毛毛;謝敏;王志剛;牟仁德;宋希文;張永和;

摘要：為提高傳統(tǒng)YSZ熱障涂層的綜合性能，采用多元稀土氧化物摻雜對(duì)其進(jìn)行改性，利用固相法合成了不同Sc₂O₃、Y₂O₃配比（總摩爾分?jǐn)?shù)為8%）的Sc₂O₃-Y₂O₃-ZrO₂（ScYSZ體系）陶瓷材料，測(cè)試分...

工業(yè)加速器用C波段小型化高功率多注速調(diào)管————作者：衛(wèi)博;李冬鳳;王加松;李闖;王剛;

摘要：小型化高功率多注速調(diào)管是無(wú)損檢測(cè)、醫(yī)療及工業(yè)輻照用電子直線加速器的理想功率源。本文簡(jiǎn)要介紹了北京真空電子技術(shù)研究所研制的一款新型C波段3MW小型化高功率多注速調(diào)管，對(duì)其采用的同軸多注諧振腔、周期反轉(zhuǎn)永磁聚焦系統(tǒng)以及大尺寸盒形輸能窗等技術(shù)進(jìn)行了說(shuō)明。器件測(cè)試結(jié)果表明，其峰值輸出功率大于3.3MW，平均功率大于6.6kW，質(zhì)量輕于25kg，可滿足工業(yè)加速器的使用要求，在此基礎(chǔ)上可形成輸出功率滿足1～5...

射頻等離子體去膠及表面清洗工藝技術(shù)研究————作者：田文娟;賀曉彬;焦斌斌;

摘要：簡(jiǎn)要介紹了等離子去膠和清洗的化學(xué)、物理變化過(guò)程；系統(tǒng)分析了決定去膠效果和去膠均勻性的因素，并給出了相應(yīng)的方案和最優(yōu)參數(shù)匹配原理，通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究了不同工藝條件下微米級(jí)及納米級(jí)Ar-F光刻膠的最優(yōu)去除工藝參數(shù)；探討了等離子體清洗反應(yīng)原理、工藝過(guò)程，以及等離子體清洗在材料表面改性方面的應(yīng)用

新型材料瓷磚粘合劑真空穩(wěn)定狀態(tài)下制備與性能研究————作者：盧國(guó)享;王中荔;

摘要：為確保瓷磚粘合劑制備過(guò)程中的穩(wěn)定性并優(yōu)化其粘接性能，研究了結(jié)合真空技術(shù)的新型材料瓷磚粘合劑的制備方法與性能。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)瓷磚尺寸制備瓷磚粘合的混凝土表面試塊，并根據(jù)室內(nèi)裝飾施工場(chǎng)景為其涂刷防水材料。對(duì)鄰苯二甲酸氫鉀和甲苯二異氰酸酯進(jìn)行真空合成，制備瓷磚粘合劑預(yù)聚物。通過(guò)邁克爾加成反應(yīng)使粘合劑預(yù)聚物改性，降低其生物毒性。利用真空干燥箱對(duì)改性粘合劑預(yù)聚物進(jìn)行干燥處理，調(diào)控干燥過(guò)程，獲得粘合劑初產(chǎn)物。利用真...

方形電子束熔煉爐真空腔體設(shè)計(jì)研究————作者：宋濤;張柏誠(chéng);姜正鶴;張黎源;

摘要：針對(duì)方形電子束熔煉爐真空腔體壁厚與加強(qiáng)筋選型設(shè)計(jì)困難的現(xiàn)狀，提出了一套適用于方形電子束熔煉爐真空腔體的設(shè)計(jì)方法。首先確定爐體材料，然后根據(jù)法蘭、開(kāi)孔及抽氣孔等孔位布置加強(qiáng)筋，以矩形加強(qiáng)筋為例，詳細(xì)討論了承載水壓、氣壓條件下方形真空容器壁厚、加強(qiáng)筋之間板材所受最大彎矩、慣性矩、抗彎截面系數(shù)以及最大切應(yīng)力的計(jì)算方法，最后通過(guò)仿真實(shí)驗(yàn)對(duì)設(shè)計(jì)的電子束熔煉爐真空腔體進(jìn)行了驗(yàn)證。結(jié)果表明，所設(shè)計(jì)的電子束熔煉爐...

磷對(duì)鎳基高溫合金鑄態(tài)組織和力學(xué)性能的影響————作者：陳明;李相材;張曉敏;黃爍;王沖;胡軍;

摘要：采用真空感應(yīng)熔煉和保護(hù)氣氛電渣重熔工藝制備了一系列不同磷（P）含量的鑄態(tài)高溫合金。通過(guò)光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡、電子探針、維氏硬度計(jì)和拉伸試驗(yàn)機(jī)等，系統(tǒng)地分析了P元素對(duì)合金微觀組織和力學(xué)性能的影響。結(jié)果表明，不同P含量下鑄態(tài)合金的晶粒組織和γ'相無(wú)顯著變化；隨著P含量的增加，合金晶界處碳化物密度增加，且碳化物的形態(tài)從點(diǎn)狀轉(zhuǎn)變?yōu)槎贪魻�；P元素在晶界偏聚使得晶界能降低，碳化物臨界形核尺寸減小，因而促...

真空時(shí)效工藝對(duì)ZG0Cr17Ni4Cu3Nb和0Cr17Ni4Cu4Nb硬度與組織的影響————作者：王蔓;戰(zhàn)春鳴;施國(guó)梅;王哲;

摘要：對(duì)ZG0Cr17Ni4Cu3Nb和0Cr17Ni4Cu4Nb不銹鋼進(jìn)行真空時(shí)效處理，系統(tǒng)分析了不同時(shí)效溫度（540～620℃）對(duì)其顯微組織及力學(xué)性能的影響機(jī)制。結(jié)果表明：隨著時(shí)效溫度的升高，兩種材料的硬度均呈現(xiàn)下降趨勢(shì)。在相同時(shí)效工藝下，0Cr17Ni4Cu4Nb的硬度優(yōu)于ZG0Cr17Ni4Cu3Nb。時(shí)效溫度升高導(dǎo)致淬火馬氏體基體發(fā)生回復(fù)與再結(jié)晶，促使逆轉(zhuǎn)變奧氏體生成并擴(kuò)展，進(jìn)而提升了殘余奧氏...

PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料電池金屬雙極板領(lǐng)域的應(yīng)用————作者：緒方潔;鈴木泰雄;畢婷婷;

摘要：介紹了等離子注入成膜（PIAD）方式的原理和特征，即通過(guò)高頻放電使原料氣體離化而生成離子，然后將其注入到施有高壓脈沖電壓的基材中。描述了用PIAD方式成膜的類(lèi)金剛石（DLC）薄膜的特征和應(yīng)用案例，結(jié)果表明PIAD方式可以通過(guò)脈沖電壓和其他成膜參數(shù)控制DLC薄膜中sp2結(jié)構(gòu)石墨層以及sp3結(jié)構(gòu)金剛石層的生長(zhǎng)，因此可以制備出具有耐腐蝕性和導(dǎo)電性功能的DLC薄膜。重點(diǎn)介紹了關(guān)于PIAD方式功能性DLC薄...

用于機(jī)匣類(lèi)鑄件的大型真空精密鑄造爐————作者：宋靜思;賈石;張?jiān)龊?趙帥;陳久強(qiáng);李秀章;張哲魁;

摘要：隨著我國(guó)商用航空發(fā)動(dòng)機(jī)產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展，大尺寸機(jī)匣鑄件的需求日益增加。面臨復(fù)雜的國(guó)際環(huán)境，大型真空感應(yīng)精密鑄造爐作為生產(chǎn)大尺寸機(jī)匣的核心設(shè)備必須擺脫進(jìn)口依賴。本文首先深入分析了大型真空精密鑄造爐的市場(chǎng)情況和技術(shù)現(xiàn)狀，然后介紹了一種國(guó)產(chǎn)新型大型真空精密鑄造爐的技術(shù)特點(diǎn)及其與國(guó)外產(chǎn)品的對(duì)比情況，最后簡(jiǎn)要分析了大型真空精密鑄造爐未來(lái)的發(fā)展前景

熱室內(nèi)真空裝置設(shè)計(jì)研究————作者：張志平;許忠政;姜正鶴;張黎源;

摘要：在核工業(yè)領(lǐng)域，真空技術(shù)被廣泛應(yīng)用。在處理含有放射性的有毒有害物質(zhì)時(shí)，真空裝置安裝在熱室內(nèi)，操作與維修需尤為謹(jǐn)慎。為了實(shí)現(xiàn)真空裝置的有效運(yùn)行、便捷維護(hù)以及提高真空裝置的可靠性，對(duì)其進(jìn)行適應(yīng)性設(shè)計(jì)顯得尤為重要。本文基于熱室的基礎(chǔ)背景，介紹了可以遠(yuǎn)程操作的真空裝置自動(dòng)平移門(mén)、在熱室外遠(yuǎn)距離布置的真空系統(tǒng)、金屬真空密封技術(shù)、可遠(yuǎn)程更換的電機(jī)結(jié)構(gòu)和耐輻照材料選型等關(guān)鍵要素的設(shè)計(jì)要點(diǎn)，為同類(lèi)真空裝置的設(shè)計(jì)提供...

射頻功率對(duì)ITO薄膜結(jié)構(gòu)及性能影響的研究————作者：孫冰成;張賢旺;張健;

摘要：使用射頻（RF）磁控濺射技術(shù)，在耐高溫石英玻璃基底上制備了氧化銦錫（ITO）透明導(dǎo)電氧化物薄膜，旨在優(yōu)化其光電特性。通過(guò)系統(tǒng)調(diào)控濺射功率變量，深入剖析了該參數(shù)對(duì)ITO薄膜質(zhì)量及光電性能的影響機(jī)理，之后又對(duì)薄膜進(jìn)行退火處理，探究了退火前后薄膜性能的變化。結(jié)果表明：隨著濺射功率的增加，ITO薄膜的可見(jiàn)光平均透過(guò)率呈現(xiàn)遞減趨勢(shì)，而薄膜的片電阻呈現(xiàn)先下降后上升再下降的趨勢(shì)；當(dāng)濺射功率為120 W且經(jīng)過(guò)30...

用于氧化鋯模擬種植體表面親水改性的新型等離子體處理系統(tǒng)————作者：蔡嘉寧;余德平;鞏曉菲;薛嘉清;張佳誠(chéng);鄭錚;陳文川;

摘要：氧化鋯種植體因其優(yōu)異的生物學(xué)及美學(xué)性能，在種植牙手術(shù)中應(yīng)用愈發(fā)廣泛。為進(jìn)一步提升氧化鋯種植體的種植成功率與骨結(jié)合率，提出了一種用于氧化鋯模擬種植體復(fù)雜形狀表面親水改性的等離子體處理系統(tǒng)。該系統(tǒng)利用納米銀線制備作為同軸介質(zhì)阻擋放電的外透明電極，將氧化鋯種植體置于低壓腔內(nèi)軸電極上方，可在1 min內(nèi)處理后顯著提升種植體表面親水性。通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了系統(tǒng)可靠性與處理的有效性，并確定了系統(tǒng)最優(yōu)處理參數(shù)，處理時(shí)...

基于ANSYS的真空燒結(jié)爐保溫層參數(shù)優(yōu)化————作者：王元暉;周明旭;李建昌;

摘要：針對(duì)某型真空燒結(jié)爐的保溫性能和爐內(nèi)溫度均勻性問(wèn)題，利用傳熱學(xué)理論模型對(duì)其保溫層參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，采用Ansys穩(wěn)態(tài)熱分析法研究了保溫層內(nèi)側(cè)石墨板厚度、外側(cè)碳?xì)趾穸燃氨�溫層與加熱體距離對(duì)真空爐溫度場(chǎng)的影響。結(jié)果表明：增加碳?xì)趾穸瓤商岣郀t內(nèi)保溫性能及溫度均勻性，但當(dāng)厚度超過(guò)150 mm時(shí)進(jìn)一步提升效果變得微弱；保溫層與加熱體距離為80 mm時(shí)，保溫層內(nèi)側(cè)溫度最高，達(dá)到1 008.5℃，相較于原始方案100...

基于CNN-RNN的氦檢漏設(shè)備故障診斷研究————作者：瞿騎龍;段垚;張治軍;艾士義;

摘要：氦檢漏設(shè)備在工業(yè)生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用于檢測(cè)微小泄漏，確保系統(tǒng)的安全性和可靠性。然而，由于設(shè)備的復(fù)雜性和工作環(huán)境的多變性，故障診斷變得尤為關(guān)鍵。本文提出了一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的氦檢漏設(shè)備故障診斷方法，旨在提高故障檢測(cè)的準(zhǔn)確性和效率。首先，對(duì)設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和預(yù)處理，輸入卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)（CNN）提取有效的特征向量并降維。然后，將特征輸入循環(huán)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)（RNN），捕捉數(shù)據(jù)的時(shí)序依賴關(guān)系。最后由激活函數(shù)輸出故障分類(lèi)...

真空感應(yīng)磁懸浮熔煉法制備BT22合金組織與性能研究————作者：李鴻舉;劉時(shí)兵;劉田雨;趙軍;史昆;李重陽(yáng);李昕祺;

摘要：BT22(Ti-5Al-5Mo-5V-1Cr-1Fe)合金是由蘇聯(lián)航空材料研究院于20世紀(jì)70年代研發(fā)的高強(qiáng)度鈦合金材料，該合金因具有良好的強(qiáng)度、韌性和淬透性被廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域。因熔融態(tài)鈦合金極易與多種耐火材料和空氣中的氧氣、氮?dú)獾劝l(fā)生化學(xué)反應(yīng)，所以熔煉鈦合金必須在真空或者惰性氣體（如氬氣、氦氣）氛圍下進(jìn)行。通過(guò)真空感應(yīng)磁懸浮熔煉法制備的BT22合金，成分均勻，鑄態(tài)和熱等靜壓態(tài)組織均為典型的...

大型并聯(lián)真空系統(tǒng)抽氣性能試驗(yàn)評(píng)估方法研究————作者：孟少飛;孫常新;李宇辰;張?jiān)?龐旭東;

摘要：多臺(tái)套真空泵并聯(lián)系統(tǒng)的總抽氣量通常低于單泵額定抽氣量的總和，這對(duì)真空系統(tǒng)的精細(xì)化設(shè)計(jì)帶來(lái)一定的困難。針對(duì)該問(wèn)題，提出了一種大型真空泵并聯(lián)抽氣性能試驗(yàn)評(píng)估方法。首先對(duì)多泵并聯(lián)工況下真空系統(tǒng)的總體抽氣性能進(jìn)行數(shù)學(xué)建模，對(duì)多泵并聯(lián)系統(tǒng)總抽氣量和單泵抽氣量降幅兩個(gè)重要指標(biāo)進(jìn)行分析；其次，對(duì)多泵并聯(lián)試驗(yàn)工程方法進(jìn)行研究，探索了基于小系統(tǒng)試驗(yàn)數(shù)據(jù)的大型并聯(lián)系統(tǒng)總抽氣量預(yù)估方法，在此基礎(chǔ)上確定了試驗(yàn)?zāi)Ｐ图皽y(cè)量方...

真空爐加熱元件設(shè)計(jì)與研究————作者：景來(lái)興;李建昌;

摘要：真空爐加熱元件直接影響爐溫均勻性與加熱效率，是真空爐設(shè)計(jì)與研究的重點(diǎn)之一。本文從加熱元件的材料與形狀、功率計(jì)算方法、接電方式、尺寸與數(shù)量選擇、安裝布局及形式等方面，綜述了近年來(lái)真空爐加熱元件的國(guó)內(nèi)外研究進(jìn)展。首先，歸納了加熱元件材料類(lèi)型、形狀、適用氣氛與真空度；其次，梳理了接電電壓與接電方式的選擇方法，對(duì)比了七種經(jīng)驗(yàn)計(jì)算功率方法的適用條件；最后，總結(jié)了加熱元件尺寸設(shè)計(jì)與不同爐型安裝布局形式。為滿足...

不同氣體和存儲(chǔ)介質(zhì)對(duì)離子束活化時(shí)效性的影響————作者：鐘利;金凡亞;

摘要：為了研究PEEK/GF聚合物材料在離子束活化后的時(shí)效性機(jī)理，用氬氣（Ar）、氫氣(H₂)、氧氣(O₂)以及氫氣與氮?dú)獾幕旌蠚怏w(H₂+N₂)對(duì)其進(jìn)行離子束活化處理，并分別于大氣、純水、無(wú)水乙醇和真空等不同介質(zhì)中存儲(chǔ)1～90 d，通過(guò)材料表面紅外光譜測(cè)試和表面接觸角測(cè)試分析了材料表面特性的時(shí)效性變化規(guī)律，在此基礎(chǔ)...

不同粘結(jié)層對(duì)Yb₂O₃改性Gd₂Zr₂O₇熱障涂層的熱沖擊影響行為————作者：李婷玥;王鑫;甄真;李娜;許振華;

摘要：(Yb_0.1Gd_0.9)₂Zr₂O₇（YbGdZrO）稀土復(fù)合氧化物是一類(lèi)適用于1 200℃以上應(yīng)用的新型熱障涂層（TBCs）材料。采用電子束物理氣相沉積（EB-PVD）工藝在NiCoCrAlYHf及（Ni,Pt）Al粘結(jié)層表面分別沉積YbGdZrO陶瓷層，制備出兩種不同粘結(jié)層體系的TBC...

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